科导超声-新型的干式清洗技术
超声干式清洗系统无需附加额外的冷却和烘干装置,也不需要诸如高纯度气体或化学溶剂等高成本的耗材。
超声干式清洗技术是一项新型的干式清洗技术,通过高速气流与超声波共同作用进行表面粉尘微粒的去除。超声干式清洗系统无需附加额外的冷却和烘干装置,也不需要诸如高纯度气体或化学溶剂等高成本的耗材。本论文从超声干式清洗区表面粘附微粒的再悬浮和超声清洗头变截面空气流道内的空腔流激振荡发声机理两方面进行理论研究,为微粒再悬浮的预测和改善提供了系统的理论依据。本论文主要研究工作和结论如下:(1)从气动声学的角度出发,初步分析了矩形空腔流激振荡发声的机理,讨论了层流边界层厚度对基板表面粘附微粒的影响。以超声干式清洗区表面粘附微粒为研究对象,基于JKR模型基本理论和力矩平衡原理,结合流场、声场产生的作用力效果,在超声干式清洗区建立了表面粘附微粒的受力模型和再悬浮模型。(2)利用MATLAB软件,分析了微粒半径、气流平均速度、超声频率和声压级等因素对微粒所受力矩和再悬浮的影响。结果表明,声辐射力力矩的数量级远小于曳力力矩和举力力矩,对微粒再悬浮的影响近乎可以忽略。微粒所受再悬浮力矩和沉降力矩的比值Mr/Mf随着微粒半径的增大而增大,也随着气流平均速度的增大而增大。
