①
清洗速度快，清洗效果好，清洁度高，工件清洁度一致，对工件表面无损伤。
②不须人手接触清洗液，安全可靠对深孔、细缝和工件隐蔽处亦清洗干净。
③节省溶剂、热能、工作场地和人工等。
④清洗精度高，可以强有力地清洗微小的污渍颗粒。
超声波清洗作用包括超声波本身具有的能量作用，真空洞穴破坏时产生的能量作用以及超声波对清洗液的搅拌流动作用这三种作用，分别称为加速度作用、空化作用和直进流作用。当使用的
超声波频率在28~100 kHz范围内时，超声波的三种作用都存在。当频率比较低的时候，起主要作用的是空化作用，当频率特别高的时候，起主要作用的是加速度作用与直进流作用。
