超声波清洗技术最早出现于20 世纪30 年代早期，由美国新泽西州的美国无线电公司技术人员研究提出。国外超声波清洗设备种类繁多，超声波清洗设备应用领域非常广泛，各种超声波清洗设备不断推陈出新。高频超声波清洗技术在国外超声波清洗设备中所占比重非常大，用来清洗微小芯片，可以把0. 15 μm 的污染物清洗掉。我国的超声波清洗技术方面研究相对较早，超声波清洗技术发展快速、应用广泛，清洗技术综合利用方式也多样化: 一个是从单缸机到多缸机或自动化的超声清洗生产线; 另一个是从低频超声清洗机到高频超声清洗机方式。